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团簇式OLED设备为香港城市大学制作 设备用真空热蒸发、磁控溅射、PECVD、电子束镀膜等技术，在衬底上沉积各种化合物，混合物单层或多层膜，有机膜，金属膜。 主要用于有机半导体材料的物理化学性能研究实验， 有机半导体器件的原理研究实验及OLED工艺研究。 整机采用团簇式真空室布局结构，中间为样品传递室，周边分别为热蒸发镀膜室，电子束镀膜室，磁控溅射镀膜室PECVD室及进出样室，进出样室连接手套箱。 
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设备说明
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